موفقیت محققان کشور برای ساخت دستگاه لایه نشانی در صنایع میکروالکترونیک

علی امیری- مجری طرح در گفتگو با خبرنگار مهر با بیان اینکه کاربرد دستگاه طراحی شده بیشتر در زمینه لایه نشانی نافلزها است، گفت: در ساخت ادوات و قطعات مختلف صنعتی نیاز است تا برای ایجاد ویژگی‌های خاصی فلزات و نافلزات را لایه نشانی کرد. لایه نشانی فلزات با استفاده از روش‌های ارزان قیمت چون اسپاترینگ انجام داد.

وی با اشاره به محدویت‌های لایه نشانی نافلزات اظهار داشت: در زمانی که نیاز است تا نا فلز چون شیشه و سرامیک‌ لایه نشانی شود تنها راه آن لایه نشانی با استفاده از لایه نشانی فرکانس رادیویی (RF) است.

امیری با اشاره به طراحی و ساخت دستگاهی برای لایه نشانی نافلزات خاطر نشان کرد: این دستگاه دارای محفظه، پمپ و فشار سنج خلا، مولد 1256 ولد و سیستم تطبیق امپدانس است.

مجری طرح به بیان نحوه عملکرد دستگاه طراحی شده پرداخت و یادآور شد: پس از آماده شدن سیستم خلا، هدفی مورد نظر (قرار دادن نافلزها در محفظه خلا) بر روی گان نصب و به آن امواج RF اعمال می‌شود و به این ترتیب کل محفظه یونیزه خواهد شد.

وی ادامه داد: ذرات یونیزه شدن با هدفی که بر روی گان نصب شده، برخورد می‌کند و ذرات و با این روش این ذرات بر روی سطح یک لایه نافلز اعمال می‌شود.

امیری با تاکید بر اینکه این دستگاه جز اقلام تحریمی است، افزود: در این پروژه تحقیقاتی موفق به طراحی و ساخت این دستگاه با توانایی‌های مختلف از 100 وات تا 15 کیلووات شدیم.

این محقق قیمت این محصول را یک پنجم نمونه خارجی دانست و اضافه کرد: این دستگاه در صنایع نیمه هادی، مواد و در صنایع میکرو الکترونیک کاربرد دارد.